垂直腔面發(fā)射激光器是指在襯底的垂直方向上構(gòu)成諧振腔，沿垂直方向上出射激光的一種新型半導(dǎo)體激光器。該設(shè)備與傳統(tǒng)的邊發(fā)射激光器不同的是其激光出射方向垂直于襯底表面，可獲得圓形光斑。由于諧振腔長與波長接近，動態(tài)單模性比較好，可在光通信、光存儲、激光顯示和照明等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其綜合了高光束質(zhì)量的垂直腔面發(fā)射激光器和高功率激光二極管抽運的固體激光器的優(yōu)勢，可同時獲得高功率和高光束質(zhì)量的激光輸出。
1567nm VCSEL垂直腔面發(fā)射激光器 1.0mW的結(jié)構(gòu)由鏡面，有源層和金屬接觸層組成。兩個發(fā)射鏡分別為P型，N型布拉格發(fā)射器。有源區(qū)有量子肼組成，在P型DBR外表面制作金屬接觸層，形成歐姆接觸，并在P型DBR上制作一個圓形出口，輸出激光。它具有較小的遠(yuǎn)場發(fā)散角，發(fā)散角光束窄且圓；并且閾值電流低，調(diào)制頻率高，能達(dá)到300KHz。通過改變激光電流跟溫度可以實現(xiàn)波長調(diào)諧。內(nèi)置TEC和PD的包裝，它專為高速光纖通信而設(shè)計。
用途：
1、具有高密度、高傳輸率、高并行光輸出及方便地進(jìn)行二維空間組合的特點，成為理想的集成光電子有源器件和空間光學(xué)及光計算機(jī)并行處理的關(guān)鍵器件。
2、該設(shè)備的高速響應(yīng)特別適于計算機(jī)中的芯片光互連和自由空間光互連。
3、容易實現(xiàn)高密度的平面陣列集成，可用于圖像處理與模式識別，還可用于光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計算技術(shù)和多值邏輯等新型電路。
